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2006/05/23

微生物で半導体工場の排水処理

シャープは半導体工場の排水を希釈せず、微生物の働きで処理できるプラントを完成させた。排水に小さな泡状にした酸素を注入、微生物の働きを活発にして、排水中の窒素を90%以上減らす。同社の半導体工場(広島県福山市)で7月から稼働する。

このプラントは半導体の洗浄時に発生する窒素を含んだ排水に、直径0.1マイクロ(マイクロは100万分の1)―10マイクロメートル程度のマイクロナノバブルと呼ぶ小さな気泡を注入する。微細な気泡は長時間水中で存在できるため、排水中の微生物の活性化を促す。微生物が繁殖できる培養材を排水中に入れて、窒素の処理能力を高めた。

1日あたりの処理能力は160立方メートルで設備投資額は4億4000万円。他の半導体メーカーから要望があれば、外販も検討する。

(日経 5/23)

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